[new] 바이오나노학부 나노 공학實驗(실험) 레포트 spin coating
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작성일 20-09-24 22:48
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분자 내의 파이결합이나 n전자가 있는 경우 UV/VIS 영역의 빛을 흡수하여 최외각 전자의 들뜸 현상이 일어나기 때문일것이다 분자가 UV/VIS를 흡수하여 들뜬 분자가 이완과정을 거치며 형광을 발하고 이 때 나오는 빛을 측정(測定) 하는데, 형광의 경우는 빛의 세기를 세게 하여주면 그만큼 형광도 세지기 때문에 감도가 좋아진다. PMMA(Poly Methyl Methacrylate)를 농도 및 회전속도에 따라 분류하여 Thickness가 어떻게 달라지는 지 알아보았다. Coating할 material을 Wafer위에 떨어뜨리고 고속으로 회전을 시키면 nm단위로 얇게 펴지면서 coating이 된다된다. 그 후 기계를 작동시키면 material이 원심력으로 인해 바깥으로 뻗어나간다.
2. 실험 theory
-Spin coating의 원리는 원심력이다. material이 wafer위에 올라있는 채로 Spin coating 기계를 rpm을 설정한 후 wafer와 기계 사이에 진공을 잡아 wafer를 고정시킨다. 전방위로 뻗어나간 material이 wafer를 coating한다.
두께를 측정(測定) 하는 방법에는 UV/Visible Spectroscopy와 α-step 2가지로 나눌 수 있따
첫째 UV/Visible Spectroscopy 는 유/무기 화합물의 정량, 임상실험 등에 널리 쓰이는 分析(분석)기기이며, 화합물의 구조를 밝히는데도 어느 정도의 정보를 제공하지만, 구조의 파악보다는 정량分析(분석)에 더 중점을 두어 사용되고 있따 또한 원자에 대한 측정(測定) 이 아니라 분자에 대한 측정(測定) 이 가능하다. 이번 실험에서는 Wafer을 사용하지 않고 슬라이드 글라스를 사용했다. 하지만 형광의 경우는 형광을 발하는 물질만 측정(測定) 이 가능하다는 일종의 제한적인 요소가 있따 이에 반해 UV/V…(skip)
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실험결과/기타
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순서
설명
다.
나노 工學(공학) 실험 보고서
Spin Coating
바이오나노학부
1. Introduction
-Spin coating은 전자 제품 소자에 많이 사용이 된다된다.
