[Engineering기술] 리소그래피lithography5
페이지 정보
작성일 19-09-30 23:13
본문
Download : [공학기술] 리소그래피lithography5.hwp
레포트/공학기술
공학기술,리소그래피lithography,공학기술,레포트
[Engineering기술] 리소그래피lithography5
리소그래피(lithography)
리소그래피(lithography)란 마스크라 불리우는 미리 작성된 원본의 패턴을 작업물 위에 사진 전사하는 것을 의미한다. 특별히 미세 패턴을 형성하는 리소그래피의 경우 접두어 micro를 붙여 microlithography라 부른다.
이러한 리소그래피의 용도 중 가장 대표적인 것으로 반도체 집적회로 제작을 들 수 있다 즉, 전자빔 주사장치를 써서 유리 기판 위에 코팅된 크롬막을 선택적으로 제거하여 마스크를 만들고, 렌즈계를 사용하여 마스크 패턴을 웨이퍼 위에 축소 투영함으로써 회로 형태를 얻는 방법이다.
이해원교수, 세계 최고속 원자힘 현미경 개발
고속…(skip)
[Engineering기술] 리소그래피lithography5
[공학기술] 리소그래피lithography5 , [공학기술] 리소그래피lithography5공학기술레포트 , 공학기술 리소그래피lithography
순서
설명
Download : [공학기술] 리소그래피lithography5.hwp( 49 )
![[공학기술]%20리소그래피lithography5_hwp_01.gif](http://www.allreport.co.kr/View/%5B%EA%B3%B5%ED%95%99%EA%B8%B0%EC%88%A0%5D%20%EB%A6%AC%EC%86%8C%EA%B7%B8%EB%9E%98%ED%94%BClithography5_hwp_01.gif)
![[공학기술]%20리소그래피lithography5_hwp_02.gif](http://www.allreport.co.kr/View/%5B%EA%B3%B5%ED%95%99%EA%B8%B0%EC%88%A0%5D%20%EB%A6%AC%EC%86%8C%EA%B7%B8%EB%9E%98%ED%94%BClithography5_hwp_02.gif)
![[공학기술]%20리소그래피lithography5_hwp_03.gif](http://www.allreport.co.kr/View/%5B%EA%B3%B5%ED%95%99%EA%B8%B0%EC%88%A0%5D%20%EB%A6%AC%EC%86%8C%EA%B7%B8%EB%9E%98%ED%94%BClithography5_hwp_03.gif)
![[공학기술]%20리소그래피lithography5_hwp_04.gif](http://www.allreport.co.kr/View/%5B%EA%B3%B5%ED%95%99%EA%B8%B0%EC%88%A0%5D%20%EB%A6%AC%EC%86%8C%EA%B7%B8%EB%9E%98%ED%94%BClithography5_hwp_04.gif)
![[공학기술]%20리소그래피lithography5_hwp_05.gif](http://www.allreport.co.kr/View/%5B%EA%B3%B5%ED%95%99%EA%B8%B0%EC%88%A0%5D%20%EB%A6%AC%EC%86%8C%EA%B7%B8%EB%9E%98%ED%94%BClithography5_hwp_05.gif)
![[공학기술]%20리소그래피lithography5_hwp_06.gif](http://www.allreport.co.kr/View/%5B%EA%B3%B5%ED%95%99%EA%B8%B0%EC%88%A0%5D%20%EB%A6%AC%EC%86%8C%EA%B7%B8%EB%9E%98%ED%94%BClithography5_hwp_06.gif)
다.
