[工學]analysis기기에 관해 - 주사전자현미경[SEM, FE-SEM], X선 형광 analysis기[XRF], X선 회…
페이지 정보
작성일 19-11-09 19:42
본문
주로 금속과 같은 도체, IC, 산화물과 같은 반도체, 고분자 재료나 세라믹과 같은 절연물의 고체, 분말, 박막시료가 표본이 된다
자기렌즈를 이용하여 전자빔을 가늘게 집속하여 이를 시료면 위에 주사함으로써 발생하는 이차전자를 검출하며, 이 때 검출된 이차전자의 양은 표면의 물질과 표면의 굴곡에 따르기 때문에 표면의 미세한 확대상을 얻을 수 있따 배율은 시료면 위와 모니터 위의 주사 진폭의 비로 정해진다.
SEM의 분해능은 전자빔을 가늘게 만들수록 높아지는데 보통 3~5nm 정도를 사용한다.
[공학]분석기기에 관해 - 주사전자현미경[SEM, FE-SEM], X선 형광 분석기[XRF], X선 회절 분석기[XRD], 시차 열 중량 열량 분석기[TG-DTA], 입도분석기 , [공학]분석기기에 관해 - 주사전자현미경[SEM, FE-SEM], X선 형광 분석기[XRF], X선 회절 분석기[XRD], 시차 열 중량 열량 분석기[TG-DTA], 입도분석기공학기술레포트 , [공학]분석기기에 관해 - 주사전자현미경[SEM FE-SEM] X선 형광 분석기[XRF] X선 회절 분석기[XRD] 시차 열 중량 열량 분석기[TG-DTA] 입도분석기
[공학]분석기기에,관해,-,주사전자현미경[SEM,FE-SEM],,X선,형광,분석기[XRF],X선,회절,분석기[XRD],시차,열,중량,열량,분석기[TG-DTA],입도분석기,공학기술,레포트
레포트/공학기술
순서
Download : [공학]분석기기에 관해 - 주사전자현미경[SEM, FE-SEM], X선 형광 분석기[XRF], X선 회절 분석기[XRD], 시차 열 중량 열량 분석기[TG-DTA], 입도분석기.hwp( 44 )
설명
分析(분석)기기에 관해 - 주사전자현미경[SEM, FE-SEM], X선 형광 分析(분석)기[XRF], X선 회절 分析(분석)기[XRD], 시차 열 중량 열량 分析(분석)기[TG-DTA], 입도分析(분석)기
1. 주사전자현미경 (SEM, FE-SEM)
- 개요 -
NT(Nano Technology)의 연구가 증가하면서 자연스럽게 미세구조물 또는 재료의 표면 형상에 대한 정보가 요구되고 있는 것이 현재의 추세이다. 이러한 요구를 충족시키기 위하여 전자현미경이 계발 되었다.
- 원리 -
(사진출처 : 주사전자현미경의 기본원리와 응용 - 코셈 고객지원팀 -)
대부분의 전자현미경의 작동원리는 다음과 같이 정리(arrangement)할 수 있따
① 전자총에 전압을 인가하면 필라멘트에서 전자가 방출되며, 일련의 전자다발은
양극에 인가된 전기장에 의하여 시료를 향해 가속된다
② 전자다발 중에서 aperture(전자, 빛, 전파 그 밖의 방사가 그 곳을 통하여 주어지
는 개구부분 - 네이버 지식사전 -)의 홀을 …(省略)
![[공학]분석기기에%20관해%20-%20주사전자현미경[SEM,%20FE-SEM],%20%20X선%20형광%20분석기[XRF],%20X선%20회절%20분석기[XRD],%20시차%20열%20중량%20열량%20분석기[TG-DTA],%20입도분석기_hwp_01.gif](http://www.allreport.co.kr/View/%5B%EA%B3%B5%ED%95%99%5D%EB%B6%84%EC%84%9D%EA%B8%B0%EA%B8%B0%EC%97%90%20%EA%B4%80%ED%95%B4%20-%20%EC%A3%BC%EC%82%AC%EC%A0%84%EC%9E%90%ED%98%84%EB%AF%B8%EA%B2%BD%5BSEM,%20FE-SEM%5D,%20%20X%EC%84%A0%20%ED%98%95%EA%B4%91%20%EB%B6%84%EC%84%9D%EA%B8%B0%5BXRF%5D,%20X%EC%84%A0%20%ED%9A%8C%EC%A0%88%20%EB%B6%84%EC%84%9D%EA%B8%B0%5BXRD%5D,%20%EC%8B%9C%EC%B0%A8%20%EC%97%B4%20%EC%A4%91%EB%9F%89%20%EC%97%B4%EB%9F%89%20%EB%B6%84%EC%84%9D%EA%B8%B0%5BTG-DTA%5D,%20%EC%9E%85%EB%8F%84%EB%B6%84%EC%84%9D%EA%B8%B0_hwp_01.gif)
![[공학]분석기기에%20관해%20-%20주사전자현미경[SEM,%20FE-SEM],%20%20X선%20형광%20분석기[XRF],%20X선%20회절%20분석기[XRD],%20시차%20열%20중량%20열량%20분석기[TG-DTA],%20입도분석기_hwp_02.gif](http://www.allreport.co.kr/View/%5B%EA%B3%B5%ED%95%99%5D%EB%B6%84%EC%84%9D%EA%B8%B0%EA%B8%B0%EC%97%90%20%EA%B4%80%ED%95%B4%20-%20%EC%A3%BC%EC%82%AC%EC%A0%84%EC%9E%90%ED%98%84%EB%AF%B8%EA%B2%BD%5BSEM,%20FE-SEM%5D,%20%20X%EC%84%A0%20%ED%98%95%EA%B4%91%20%EB%B6%84%EC%84%9D%EA%B8%B0%5BXRF%5D,%20X%EC%84%A0%20%ED%9A%8C%EC%A0%88%20%EB%B6%84%EC%84%9D%EA%B8%B0%5BXRD%5D,%20%EC%8B%9C%EC%B0%A8%20%EC%97%B4%20%EC%A4%91%EB%9F%89%20%EC%97%B4%EB%9F%89%20%EB%B6%84%EC%84%9D%EA%B8%B0%5BTG-DTA%5D,%20%EC%9E%85%EB%8F%84%EB%B6%84%EC%84%9D%EA%B8%B0_hwp_02.gif)
![[공학]분석기기에%20관해%20-%20주사전자현미경[SEM,%20FE-SEM],%20%20X선%20형광%20분석기[XRF],%20X선%20회절%20분석기[XRD],%20시차%20열%20중량%20열량%20분석기[TG-DTA],%20입도분석기_hwp_03.gif](http://www.allreport.co.kr/View/%5B%EA%B3%B5%ED%95%99%5D%EB%B6%84%EC%84%9D%EA%B8%B0%EA%B8%B0%EC%97%90%20%EA%B4%80%ED%95%B4%20-%20%EC%A3%BC%EC%82%AC%EC%A0%84%EC%9E%90%ED%98%84%EB%AF%B8%EA%B2%BD%5BSEM,%20FE-SEM%5D,%20%20X%EC%84%A0%20%ED%98%95%EA%B4%91%20%EB%B6%84%EC%84%9D%EA%B8%B0%5BXRF%5D,%20X%EC%84%A0%20%ED%9A%8C%EC%A0%88%20%EB%B6%84%EC%84%9D%EA%B8%B0%5BXRD%5D,%20%EC%8B%9C%EC%B0%A8%20%EC%97%B4%20%EC%A4%91%EB%9F%89%20%EC%97%B4%EB%9F%89%20%EB%B6%84%EC%84%9D%EA%B8%B0%5BTG-DTA%5D,%20%EC%9E%85%EB%8F%84%EB%B6%84%EC%84%9D%EA%B8%B0_hwp_03.gif)
![[공학]분석기기에%20관해%20-%20주사전자현미경[SEM,%20FE-SEM],%20%20X선%20형광%20분석기[XRF],%20X선%20회절%20분석기[XRD],%20시차%20열%20중량%20열량%20분석기[TG-DTA],%20입도분석기_hwp_04.gif](http://www.allreport.co.kr/View/%5B%EA%B3%B5%ED%95%99%5D%EB%B6%84%EC%84%9D%EA%B8%B0%EA%B8%B0%EC%97%90%20%EA%B4%80%ED%95%B4%20-%20%EC%A3%BC%EC%82%AC%EC%A0%84%EC%9E%90%ED%98%84%EB%AF%B8%EA%B2%BD%5BSEM,%20FE-SEM%5D,%20%20X%EC%84%A0%20%ED%98%95%EA%B4%91%20%EB%B6%84%EC%84%9D%EA%B8%B0%5BXRF%5D,%20X%EC%84%A0%20%ED%9A%8C%EC%A0%88%20%EB%B6%84%EC%84%9D%EA%B8%B0%5BXRD%5D,%20%EC%8B%9C%EC%B0%A8%20%EC%97%B4%20%EC%A4%91%EB%9F%89%20%EC%97%B4%EB%9F%89%20%EB%B6%84%EC%84%9D%EA%B8%B0%5BTG-DTA%5D,%20%EC%9E%85%EB%8F%84%EB%B6%84%EC%84%9D%EA%B8%B0_hwp_04.gif)
![[공학]분석기기에%20관해%20-%20주사전자현미경[SEM,%20FE-SEM],%20%20X선%20형광%20분석기[XRF],%20X선%20회절%20분석기[XRD],%20시차%20열%20중량%20열량%20분석기[TG-DTA],%20입도분석기_hwp_05.gif](http://www.allreport.co.kr/View/%5B%EA%B3%B5%ED%95%99%5D%EB%B6%84%EC%84%9D%EA%B8%B0%EA%B8%B0%EC%97%90%20%EA%B4%80%ED%95%B4%20-%20%EC%A3%BC%EC%82%AC%EC%A0%84%EC%9E%90%ED%98%84%EB%AF%B8%EA%B2%BD%5BSEM,%20FE-SEM%5D,%20%20X%EC%84%A0%20%ED%98%95%EA%B4%91%20%EB%B6%84%EC%84%9D%EA%B8%B0%5BXRF%5D,%20X%EC%84%A0%20%ED%9A%8C%EC%A0%88%20%EB%B6%84%EC%84%9D%EA%B8%B0%5BXRD%5D,%20%EC%8B%9C%EC%B0%A8%20%EC%97%B4%20%EC%A4%91%EB%9F%89%20%EC%97%B4%EB%9F%89%20%EB%B6%84%EC%84%9D%EA%B8%B0%5BTG-DTA%5D,%20%EC%9E%85%EB%8F%84%EB%B6%84%EC%84%9D%EA%B8%B0_hwp_05.gif)
![[공학]분석기기에%20관해%20-%20주사전자현미경[SEM,%20FE-SEM],%20%20X선%20형광%20분석기[XRF],%20X선%20회절%20분석기[XRD],%20시차%20열%20중량%20열량%20분석기[TG-DTA],%20입도분석기_hwp_06.gif](http://www.allreport.co.kr/View/%5B%EA%B3%B5%ED%95%99%5D%EB%B6%84%EC%84%9D%EA%B8%B0%EA%B8%B0%EC%97%90%20%EA%B4%80%ED%95%B4%20-%20%EC%A3%BC%EC%82%AC%EC%A0%84%EC%9E%90%ED%98%84%EB%AF%B8%EA%B2%BD%5BSEM,%20FE-SEM%5D,%20%20X%EC%84%A0%20%ED%98%95%EA%B4%91%20%EB%B6%84%EC%84%9D%EA%B8%B0%5BXRF%5D,%20X%EC%84%A0%20%ED%9A%8C%EC%A0%88%20%EB%B6%84%EC%84%9D%EA%B8%B0%5BXRD%5D,%20%EC%8B%9C%EC%B0%A8%20%EC%97%B4%20%EC%A4%91%EB%9F%89%20%EC%97%B4%EB%9F%89%20%EB%B6%84%EC%84%9D%EA%B8%B0%5BTG-DTA%5D,%20%EC%9E%85%EB%8F%84%EB%B6%84%EC%84%9D%EA%B8%B0_hwp_06.gif)
[工學]analysis기기에 관해 - 주사전자현미경[SEM, FE-SEM], X선 형광 analysis기[XRF], X선 회절 analysis기[XRD], 시차 열 중량 열량 analysis기[TG-DTA], 입도analysis기
[工學]analysis기기에 관해 - 주사전자현미경[SEM, FE-SEM], X선 형광 analysis기[XRF], X선 회절 analysis기[XRD], 시차 열 중량 열량 analysis기[TG-DTA], 입도analysis기
다.
주사전자현미경(SEM)은 Torr 이상의 진공 중에 놓인 시료표면에 1~100nm 정도의 미세한 전자선을 x-y의 평면방향으로 주사하여 시료표면에서 발생하는 이차전자, 반사전자, 투과전자, 가시광선, 적외선, X선, 내부 기전력 등의 신호를 검출하여 모니터에 확대상을 표시하며, 시료의 형태, 미세구조의 watch이나 구성원소의 분포, 정성, 정량 등을 分析(분석)하는 장치이다.
